ALD-194 搜索结果

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薄膜 沉积设备主要包括 CVD 设备、PVD 设备/电镀设备和 ALD 设备，三者各有所长，CVD 主要应用 于各种氮化物、碳化物、氧化物、硼化物、硅化物涂层的制备，PVD 主要应用于金属涂层的制备， ALD 属于新兴领域，一般用于 45nm 以下制程芯...

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