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东方中科供货国产DUV光刻机产商科益虹源近日,东方中科(002819)在投资者互动平台表示,北京科益虹源光电技术有限公司确为公司客户,已向其供货。科益虹源是国家02重大专项“准分子激光技术”成果的产业化载体,开展浸没光刻光源的关键技术...

duv就是深紫外光，主要是指波长小于i-line365nm的紫外光，一般工业上有193arf和248nmkrf的的激光。用的都是化学增幅型的光刻胶。

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