ALD-208 搜索结果

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铍 5B 硼 6C 碳 7N 氮 8O 氧 9F 氟 10Ne 氖 11Na 钠 12Mg 镁 13Al 铝 14Si 硅 15P 磷 16S 硫 17Cl 氯 18Ar 氩 19K 钾 20Ca 钙 21Sc 钪 22Ti 钛 23V 钒 24Cr ...

ALD 技术和CVD, PVD 薄膜生长技术相比具有以下优势:1.大部分ALD 工艺在400度以下的低温进行;2. 由于是以原子为单位沉积,可以精确的控制非常薄的薄膜,杂质含量低,几乎没有pin hole; 3. ALD 即使在 High Aspect Ratio也能满足100%的...