[ALD-610]发行于2013-03-07时长241分钟出品商是桃太郎映像出版,ALD-610作品种子搜索下载,[ALD-606]发行于2013-03-07时长245分钟出品商是桃太郎映像出版,ALD-606作品种子搜索下载
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本发明的实施方案属于半导体结构和处理的领域,特别是用于光辅助金属原子层沉积(ALD)和化学气相沉积(CVD)的前体和工艺设计领域。 背景技术: 在过去的几十年里,集成电路中的特征的缩放(scaling)一直是不断增长的半导体工业背后的驱动力。缩放到越来越小的特征使得能够在半导体芯片的有限的有效区域(real estate)上实现增加...