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7. 【科普讲座】跨尺度微纳制造中的原子层沉积(ALD)技术 利用密度泛函理论与微动力学相结合的方法对ALD过程的反应过程进行分析,得到选择性原子层沉积的反应机理,并能够通过解释选择性ALD的反应机理,实现对不同反应物的位点原子层沉积提供指导。从而将原子层沉积的可控精度从纳米级别到亚纳米级别。
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9. PECVD还是ALD?【能源人都在看,点击右上角加'关注'】北极星太阳能光伏网讯:PECVD还是ALD?下面是摘取王文静老师演讲PPT的内容。免责声明:以上内容转载自北极星电力新闻网,所发内容不代表本平台立场。全国能源信息平台联系电话:010-65367702,邮箱:hz@...
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