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5. ...Ge-Si Dimers in the Initial Stage of Ge Growth onThe reaction mechanisms of ZrCl_4 adsorption and dissociation on Ge/Si(100)-(2x1) surface as the initial stage oi ZrO_2 atomic layer deposition process are... W Chen,DW Zhang,L Ren,... - 《Thin Solid Films An...
ZRCL-001