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2. 表面钝化技术路线多样,谁主沉浮? 文献[8]中采用PECVD 制备105nm AlOx薄膜钝化PERC电池背面,在0.5Ω·cm的4cm2 区熔单晶硅上制得效率为21.5%的电池,这是目前采用氧化铝钝化PERC电池的最高效率,而采用超薄的7nm Al2O3(ALD)/90nm SiOx(PECVD)叠层钝化的电池效率也达到了21.3%。文献[9]中首次将Al2O3钝化用于125mm×125mm大面积3Ω·cm P型...
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